Diyot sıçratma

Bu yöntemde iki yüzey arasına bir potansiyel uygulanarak bir elektron akışı elde edilerek sıçratma gerçekleştirilmektedir.

• Ortama gaz verildiğinde ise yoğun atom çarpışmaları oluşmaktadır.

• Çarpışmalar sırasında bir elektron çarptığı atomdan bir elektron koparabilirse atom iyon haline geçmektedir.

Kaynak: Yrd. Doç. Dr. Atilla Evcin’in “2006 yılı Kaplama Teknikleri Ders Notları”ndan derlenmiştir.