Triyot sıçratma

Bu sıçratma tekniğinde ise diyot sıçratma sisteminden farklı olarak anot ve katot arasına elektron yayan bir flaman ve elektron toplayıcı eklenmiştir. Böylelikle plazmanın iyon akım yoğunluğu artırılmaktadır

Kaynak: Yrd. Doç. Dr. Atilla Evcin’in “2006 yılı Kaplama Teknikleri Ders Notları”ndan derlenmiştir.