CVD İşleminin Temel Basamakları

(a) Kimyasal madde buharının yüzeye taşınması.

(b) Kimyasal buharın yüzeye absorbe olması.

(c) Yüzeyde heterojen reaksiyon.

(d) Büyümenin olacağı yüzey noktalarına buhar difüzyonu.

(e) Filmin çekirdekleşmesi ve büyümesi.

(f) Buharın istenmeyen bileşenin yüzeyden itilmesi veya sistem dışına alınması

Kaynak: Prof. Dr. Hatem Akbulut’un “Nano Kaplama Teknikleri” (30 Ekim 2006 Pazartesi) sunumundan derlenmiştir.