Elektron bombardımanı ile buharlaştırma

• Bu yöntemde bir elektron kaynağı tarafından sağlanan elektronlar ile malzeme bombardımana tutularak buharlaşma sağlanmaktadır.

• Elektronların odaklanması kolaylıkla yapılabilmektedir. Bu nedenle yüksek güç yük yoğunlukları elde edilerek yüksek ergime sıcaklıklarına (>3500 ^oC) sahip malzemeler bile kolaylıkla buharlaştırılabilmektedir.

• Elektronların da yönlendirmeleri kolay olduğundan yüzeyde tarama yaparak homojen buharlaştırma yapmak mümkün olmaktadır.

• Elektron tabancasında ince ve yüksek sıcaklıklara dayanıklı bir filaman tel üzerinden akım geçirilerek telin ısınması ve elektron yayması sağlanmaktadır.

• Elde edilen elektronlar bir manyetik alan yardımı ile hızlandırılarak yönlendirilmektedir. Buharın tabanca üzerinde birikmesini ve tabancanın buhar bulutunu gölgelemesini engellemek için yönlendirme genellikle 90^o, 180^o veya 270^o’lik açılarla yapılmaktadır.

• Hızlandırma potansiyeli 6-10 kV mertebelerinde olan bu tip tabancalarda yalıtkan malzemeler de kolaylıkla buharlaştırılmaktadır.

Kaynak: Yrd. Doç. Dr. Atilla Evcin’in “2006 yılı Kaplama Teknikleri Ders Notları”ndan derlenmiştir.